抛光盘的平面精度与其精度的保持性决定了平面抛光的精度。因此为了使工件获得高精-度的加工平面，毕须使用高精-度平面的抛光盘。在抛光高-精度面积较小的平面加工件时，要使用弹性形变小并且能始-终保持平面度的抛光盘。所以在平面抛光盘上涂上一层弹性或软金属材料或者是采用特种玻璃作为抛光盘，都可以获得高精-度的表面质量。

　　在工件材质比较软时，如光学玻璃等，有时可以使用软质的抛光盘(如石蜡盘及沥青盘等)或半软质的抛光盘(如锡盘等)来获得高精-度的光滑无-损商表面。使用软质的抛光盘，抛光后得到的工件表面具有表面粗糙度与讲过变质层都很小的优点，但存在不易保存工件平面度的缺点，对工件平面度产生影响。新光-速生产的各-类研磨抛光盘可以得到很-好的表面粗糙度和材料去-除率，生产的各-类合成盘由合成树脂,金属材料和其它材料混合加工而成。